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DFC-4000 Connector
기술자료
2012. 1. 17. 15:48
DFC-4000 <-> Mykrolis FC-280S 사용중
KOFLOC 3665 모델 연결 의뢰..
메뉴얼 뒤적이다 성공!!
영어가 안되서 아주 힘들구나... ㅜ_ㅜ
가스(에어)량 제어하는 기기라는데..
혹시나 나같이 헤매는 사람이 있을지 몰라 자료 올림..
DFC4000-3660-mfc.pdf
05_22MFC(KOFLOC)_e.pdf
DFC4000(업체송부용).pdf
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